tin tức công ty về Tăng năng suất chất bán dẫn: Ra mắt hệ thống gỡ bỏ liên kết băng UV hiệu quả cao để cắt và tạo rãnh wafer

Tăng năng suất chất bán dẫn: Ra mắt hệ thống gỡ bỏ liên kết băng UV hiệu quả cao để cắt và tạo rãnh wafer

Giới thiệu: Khi các tấm bán dẫn trở nên mỏng hơn và có tính tích hợp cao hơn, việc kiểm soát năng suất sản xuất trong quá trình cắt hạt, tạo rãnh và mài ngược đã trở thành một thách thức quan trọng đối với ngành. Để giải quyết vấn đề này,Thâm Quyến Super-curing Opto-Electronic CO., Ltdmột nhà cải tiến hàng đầu về công nghệ xử lý bằng tia cực tím, đã chính thức ra mắt Hệ thống khử liên kết băng UV bán dẫn hiệu suất cao thế hệ tiếp theo. Được thiết kế đặc biệt cho bao bì phía sau chất bán dẫn tiên tiến, hệ thống này giải quyết thách thức bóc băng cắt UV có độ bám dính cao mà không làm hỏng khuôn siêu mỏng, tăng đáng kể năng suất cắt miếng bán dẫn và tăng tốc hiệu quả sản xuất.

Trong quá trình làm mỏng wafer, cắt hạt lựu và tạo rãnh bằng laser,Băng keo UV (Băng UV)là cần thiết để giữ wafer một cách an toàn tại chỗ nhằm ngăn ngừa sự dịch chuyển hoặc nứt của khuôn vi mô. Tuy nhiên, sau khi quá trình cắt hạt lựu hoàn tất, việc tháo các băng dính có độ bám dính cao này một cách an toàn, sạch sẽ và không gây áp lực cơ học là một trở ngại lớn:

• Gỡ bỏ liên kết không đầy đủ:Đèn UV tiêu chuẩn thường thiếu độ xuyên thấu đồng đều cần thiết để kích hoạt phản ứng hoàn toàn trong chất xúc tác quang của chất kết dính UV có độ bám dính cao. Điều này dẫn đến độ dính còn sót lại, dẫn đếnvết nứt chết,sứt mẻ, hoặcgãitrong quá trình bong tróc vật lý.

• Thiệt hại nhiệt & cong vênh:Đèn thủy ngân cao áp truyền thống tạo ra nhiệt hồng ngoại quá mức. Ứng suất nhiệt này có thể làm cho các tấm bán dẫn siêu mỏng bị cong vênh hoặc bong tróc, làm giảm nghiêm trọng năng suất sản phẩm cuối cùng.

• Điểm nghẽn thông lượng:Sự phân bố ánh sáng không đồng đều và thời gian chiếu xạ dài tạo ra những trở ngại đáng kể trong dây chuyền lắp ráp chất bán dẫn tự động.

Được thiết kế để khắc phục những nút thắt trong ngành,Thâm Quyến Super-curing Opto-Electronic CO., LtdNhóm R&D của chúng tôi đã tối ưu hóa cấu trúc quang học và cơ chế bảo dưỡng để mang lại giải pháp loại bỏ liên kết UV-LED có độ chính xác cao.

Hệ thống sử dụng độ tinh khiết cao, hiệu suất caoNguồn sáng UV-LED bước sóng đơn 365nm. Bước sóng chính xác này hoàn toàn phù hợp với phổ hấp thụ của chất kích thích quang học có trong băng UV bán dẫn cao cấp (chẳng hạn như băng keo gốc PO hoặc PVC). Ánh sáng tia cực tím ngay lập tức xuyên qua lớp nền màng để liên kết chéo lớp dính, giảm độ bền bong tróc của băng xuống gần bằng 0 trong vòng vài giây để loại bỏ dễ dàng, không để lại cặn.

Được trang bị dãy thấu kính siêu nhỏ độc quyền và hệ thống quản lý nhiệt hiệu quả cao, thiết bị này loại bỏ hoàn toàn nhiệt hồng ngoại liên quan đến quá trình xử lý bằng tia cực tím truyền thống. Ngay cả khi hoạt động ở cường độ cao liên tục, nhiệt độ bề mặt tấm bán dẫn vẫn tăngđược kiểm soát chặt chẽ với ≤ 5°C. Điều này bảo vệ các tấm bán dẫn siêu mỏng (xuống tới 50µm trở xuống) khỏi hiện tượng cong vênh nhiệt và trôi hiệu suất.

Thông qua việc tối ưu hóa ống kính quang học tùy chỉnh, hệ thống đạt đượcđộ đồng đều cường độ ánh sáng trên 95%trên toàn bộ khu vực tiếp xúc. Việc đảm bảo rằng mỗi khuôn trên tấm bán dẫn đều nhận được liều lượng tia cực tím giống nhau sẽ loại bỏ dư lượng chất kết dính cục bộ hoặc sự bong tróc không hoàn toàn. Điều này giảm thiểu sứt mẻ và bay khuôn trong quá trình gắp và đặt tiếp theo, tối đa hóa tổng năng suất sản xuất phụ trợ.

Ngoài hiệu suất quang học, Hệ thống gỡ rối băng UV hiệu suất cao còn có khả năng điều khiển thông minh tiên tiến. Nó hỗ trợ tiêu chuẩnGiao thức truyền thông công nghiệp PLC, cho phép tích hợp liền mạch vào máy tháo côn tự động, máy cắt hạt bán dẫn và các thiết bị phụ trợ tự động khác.

Hệ thống này cũng bao gồm giám sát cường độ tia cực tím vòng kín theo thời gian thực. Người vận hành có thể tự động điều chỉnh năng lượng bức xạ và thời gian phơi sáng dựa trên nhãn hiệu và độ dày khác nhau của băng UV, đảm bảo tính nhất quán tuyệt đối của quy trình giữa các lô.

"Ngành công nghiệp thử nghiệm và đóng gói chất bán dẫn yêu cầu khả năng chịu đựng gần như bằng 0 đối với ứng suất thành phần và tính không ổn định của quy trình,"Giám đốc R&D tạiThâm Quyến Super-curing Opto-Electronic CO., Ltd."Hệ thống gỡ bỏ liên kết băng UV chuyên dụng của chúng tôi là kết quả của quá trình nghiên cứu sâu về các vật liệu điện tử tiên tiến. Nó không chỉ giúp các tấm bán dẫn giảm tổn thất cơ học và tăng năng suất cắt hạt mà còn đóng vai trò là giải pháp thay thế có độ tin cậy cao, tiết kiệm chi phí cho các hệ thống nhập khẩu đắt tiền."

Hệ thống này đã vượt qua thành công quá trình kiểm tra chất lượng dây chuyền nghiêm ngặt tại một số OSAT (Thử nghiệm và lắp ráp chất bán dẫn thuê ngoài) hàng đầu và các xưởng đúc bán dẫn, đồng thời hiện đang chuyển sang sản xuất thương mại hoàn chỉnh.

Thâm Quyến Super-curing Opto-Electronic CO., Ltdlà một doanh nghiệp công nghệ cao chuyên về R&D, sản xuất và phân phối các hệ thống xử lý bằng tia cực tím cao cấp. Nắm giữ nhiều bằng sáng chế cốt lõi, danh mục sản phẩm của chúng tôi bao gồm các hệ thống xử lý điểm, dây chuyền và đèn UV-LED, cũng như các hệ thống thủy ngân công nghiệp và các giải pháp băng tải tự động được sử dụng trong các ngành công nghiệp bán dẫn, điện tử tiêu dùng, thiết bị y tế và in ấn chính xác.